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在超精密气浮定位平台研究工作中,对静压空气轴承的安装位置对系统影响的研究相对较少,本公司研制了一种新型机械结构的音圈直线电机气浮导轨性能测试实验台,实验台导轨滑架采用焊接框架组合结构,实现不同类型建立了双边直线电机驱动的h型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了研究
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